
電子級(jí)硫酸提純?cè)O(shè)備
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- 產(chǎn)品介紹
電子級(jí)硫酸主要用于半導(dǎo)體硅晶片的清洗與蝕刻,半導(dǎo)體硅晶片為什么需要經(jīng)常清洗,硫酸又在清洗中扮演著什么樣的角色呢?電子級(jí)硫酸提純?cè)O(shè)備廠(chǎng)家為您簡(jiǎn)單介紹。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,硅晶片常常會(huì)被不同的雜質(zhì)污染,這些雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致硅晶片產(chǎn)率下降,為了獲得高質(zhì)量、高產(chǎn)率的集成電路芯片,必須始終保持硅晶片清潔,尤其是在高溫工序之前(如擴(kuò)散、外延生長(zhǎng)和化學(xué)氣相沉淀)。因此,半導(dǎo)體生產(chǎn)幾乎每?jī)傻拦ば蛑g都要進(jìn)行清洗。在90~125℃的溫度范圍內(nèi),硫酸是一種非常有效的清洗劑,它幾乎可以除去硅晶片上所有的無(wú)機(jī)殘留物與金屬顆粒;在硫酸中加入氧化劑(過(guò)氧化氫、過(guò)硫酸按、硝酸、臭氧等)可除去硅晶片上的有機(jī)物。
可見(jiàn),電子級(jí)硫酸確實(shí)可以對(duì)半導(dǎo)體硅晶片起到非常好的清洗效果。我公司是一家電子級(jí)硫酸提純?cè)O(shè)備廠(chǎng)家,專(zhuān)門(mén)銷(xiāo)售電子級(jí)硫酸提純?cè)O(shè)備及其他各種類(lèi)型的提純?cè)O(shè)備,歡迎您來(lái)電咨詢(xún)。